光學(xué)輪廓儀微顯示共聚焦掃描
目前的共聚焦顯微鏡都使用有著可移動(dòng)機(jī)械裝置的鏡面掃描頭，這會(huì)限制其使用壽命，并且在高倍率時(shí)降低像素抖動(dòng)優(yōu)化效果。對(duì)于共焦掃描，neox使用基于微型顯示器的Sensofar技術(shù)。該微型顯示器基于鐵電液晶硅(FLCoS)，一種沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件的快速切換裝置，使共焦圖像的掃描更快速、穩(wěn)定并擁有無(wú)限的壽命。
彩色CCD攝像頭
Neox使用一個(gè)高速高分辨率的黑白CCD攝像頭為系統(tǒng)計(jì)量探頭。另一個(gè)彩色攝像頭可用于明場(chǎng)表面觀察。這樣使得它很容易找出所分析樣品的特點(diǎn)。此外，地貌測(cè)量功能可得到全聚焦彩色圖像。該系統(tǒng)在垂直掃描過(guò)程中記錄圖像合焦位置像素，并和其Z軸位置匹配從而得到全聚焦彩色圖像，并以此來(lái)創(chuàng)建出色的三維模型。
物鏡
Neox使用*的CFI60 Nikon物鏡，在各NA時(shí)都有zui大的工作距離。可選用的物鏡超過(guò)50種，每一款都可對(duì)應(yīng)某種特別應(yīng)用：可用于共聚焦成像和建模的較高NA，倍率范圍2.5X至200X，超長(zhǎng)工作距離，特長(zhǎng)工作距離及浸水物鏡；帶調(diào)焦環(huán)的物鏡可在zui厚2mm范圍的透明介質(zhì)對(duì)焦；2.5X至100X帶參考鏡校正及頂端傾斜的物鏡。
雙垂直掃描器
雙垂直掃描器包括一個(gè)電動(dòng)平臺(tái)和壓電掃描器，以獲得zui高的掃描范圍和zui高的測(cè)量精度及重復(fù)精度。高定位精度的線性平臺(tái)行程40mm，zui小步進(jìn)可達(dá)10nm，用于共聚焦掃描非常理想。集成的壓電掃描器zui高掃描范圍200μm，壓電電阻傳感器高定位分辨率0.2nm，全行程精度1nm。現(xiàn)有的其它掃描平臺(tái)使用光學(xué)編碼器，精度僅30nm且不確定，限制了系統(tǒng)的度和重復(fù)性。結(jié)合線性平臺(tái)和壓電掃描器的*設(shè)計(jì)，使Neox在0.1納米至幾毫米測(cè)量范圍內(nèi)擁有業(yè)界zui高的精度，線性和重復(fù)性。
集成反射光譜儀
共聚焦及干擾法測(cè)量薄膜厚度的實(shí)際限制約為1μm單層膜。Neox集成了一個(gè)反射光譜儀，通過(guò)光纖進(jìn)行薄膜的測(cè)量，厚度范圍在10nm，zui高可達(dá)10層膜。該光纖通過(guò)顯微目鏡成像，因此，薄膜測(cè)量點(diǎn)尺寸zui小可達(dá)5微米。測(cè)量使用集成的LED光源，可提供樣品以及薄膜測(cè)量的實(shí)時(shí)明場(chǎng)影像。
雙LED
照明光源內(nèi)置了兩個(gè)高功率LED，其中白光LED用于彩色明場(chǎng)觀察，薄膜測(cè)量，VSI和ePSI。另一個(gè)藍(lán)光LED用于高分辨率共聚焦影像和PSI。藍(lán)光LED較短的波長(zhǎng)可有效提升水平分辨率至0.15μm(L&S)，并改善PSI噪聲為0.01nm垂直分辨率。
高速度 (12.5 fps 共聚焦幀速率)
基于FLCoS微型顯示器的高速轉(zhuǎn)換速度和*的快速共聚焦算法，本設(shè)備可達(dá)到12.5幀/秒的共聚焦圖像幀率，垂直3D掃描達(dá)到8層/秒，這意味著3D共焦測(cè)量掃描速度范圍為0.5至350μm/s。干涉掃描速度為50 fps，即垂直掃描速度高達(dá)800μm/s。一次典型的測(cè)量時(shí)長(zhǎng)，其中包括掃描后的運(yùn)算，通常小于5秒。
光學(xué)輪廓儀可用于標(biāo)準(zhǔn)的明場(chǎng)彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測(cè)量。沒(méi)有移動(dòng)部件使其擁有堅(jiān)固而緊湊的設(shè)計(jì)，同時(shí)也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡(jiǎn)單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非常快的測(cè)量速度，只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R，調(diào)焦，并選擇適當(dāng)?shù)牟杉Ｊ郊纯伞?/div>
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